1. 產品概述

MPCVD（微波等離子體化學氣相沉積）鉬基片臺是一種專為高溫、高壓環(huán)境設計的關鍵部件，廣泛應用于半導體制造、光學涂層、金剛石薄膜沉積等領域。鉬基片臺以其優(yōu)異的熱穩(wěn)定性、高熔點和良好的機械性能，成為MPCVD設備中不可或缺的核心組件。

2. 產品特點

• 高熔點：鉬的熔點高達2620°C，適合極端高溫環(huán)境。

• 優(yōu)異的熱導率：確?；_表面溫度均勻分布，避免局部過熱。

• 高機械強度：在高應力條件下保持穩(wěn)定，延長使用壽命。

• 耐腐蝕性：在化學活性氣體中表現出色，適合復雜工藝環(huán)境。

• 高純度：采用高純度鉬材料，減少雜質污染，提升沉積薄膜質量。

• 定制化設計：可根據客戶需求提供不同尺寸、形狀和表面處理的基片臺。

3. 應用領域

• 半導體制造：用于硅片、GaN、SiC等材料的沉積。

• 光學涂層：用于增透膜、反射膜等光學薄膜的制備。

• 金剛石薄膜沉積：用于工具、模具等表面的金剛石涂層。

• 科研實驗：適用于高溫高壓條件下的材料研究和新工藝開發(fā)。

4. 技術參數

• 材質：高純度鉬（Mo）

• 熔點：2620°C

• 熱導率：138 W/m·K

• 密度：10.2 g/cm3

• 純度：≥99.95%

• 尺寸：支持定制（直徑、厚度等）

• 表面處理：可提供拋光、涂層等定制化處理

5. 產品優(yōu)勢

• 高性能：在極端條件下保持穩(wěn)定，確保工藝一致性。

• 長壽命：耐高溫、耐腐蝕，減少設備停機時間和維護成本。

• 高精度：表面平整度高，確保薄膜沉積均勻性。

• 定制化服務：根據客戶需求提供個性化設計和制造服務。

• 優(yōu)質售后服務：提供全面的技術支持和維護服務。

6. 使用與維護

• 安裝：確?；_與設備匹配，避免機械應力。

• 清潔：定期清理表面污染物，保持高純度和性能。

• 檢查：定期檢查磨損和腐蝕情況，及時更換或維護。

7. 適用設備

• MPCVD設備

• 化學氣相沉積（CVD）設備

• 等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）設備

• 其他高溫薄膜沉積設備

MPCVD鉬基片臺憑借其優(yōu)異的性能和可靠性，在半導體、光學涂層和金剛石薄膜沉積等領域發(fā)揮著重要作用。無論是大規(guī)模生產還是科研實驗，鉬基片臺都能提供高效、穩(wěn)定的支持，是MPCVD設備中的核心組件。

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